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产品信息
jc6001

JC-6001自动探针测试台

■ 主要用途

适用于半导体器件芯片的自动中测。它与相应测试仪配接后,自动完成对3-6英寸集成电路和分立器件的参数测试及功能测试。

■主要功能特点
◎  运动结构采用精密导轨,丝杠,精度高,寿命长,速度快,工作稳定。
◎  承片台采用工控工作站主控,人机界面好,抗干扰能力强。
◎  采用可编程承片台,承片台上升高度可软件设置。
◎  三轴都有电气限位,软件限位双重保护。
◎  具有手动/矩阵/探边/圆形/环形/周边打点/区域测试七种测试方式。
◎  可视化界面以及MAP图动态实时显示功能。
◎  连续失效报警功能。
◎  支持MAP图文件保存,离线打点功能。
◎  支持实时及延迟打点功能。
◎  选定区域好坏管芯进行复测功能。
◎  最多支持4个管芯并测
主要性能指标
  温度 20±3℃
  可测片径 3”,4”,5”,6”
  工作台行程 160mm×160mm
  XY定位精度 <± 0.005mm/150mm
  XY重复定位精度 <±0.002mm
  XY分辨率 0.001mm
  XY垂直度 <0.005mm/150mm
  承片台重复定位精度 <±0.002mm
  承片台分辨率 0.002mm
  承片台平面度 <0.01mm
  承片台行程 5mm
  Φ角调节范围 ±15°
  电源 AC220V,50HZ
  功率 <1KW
  真空 0.1MPa
  尺寸 长×宽×高  700mm×670mm×1550mm